石墨坩堝在熱場系統中有什么功能?
2023年10月28日
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石墨坩堝
直拉法出產單晶硅是現在制備單晶硅的最主要辦法,熱場體系是硅材料成晶的最重要的條件之一,熱場的溫度梯度分布直接影響著是否能順暢地拉出單晶和操控單晶的質量好壞。因而熱場的設計和改善對一個有競爭力的拉晶廠家來說非常重要。
石墨坩堝在熱場體系中的功能 :
在拉制單晶的過程中,石墨坩堝作為要害核心部件的主要作用有如下幾點:
(1)高溫承載作用:裝滿多晶硅質料的石英坩堝要置于石墨坩堝里面,石墨坩堝要承載石英坩堝和多晶硅等質料的分量,保證高溫石英坩堝變軟后,質料不會走漏出來,而且在拉晶過程中要承載質料做旋轉運動,因而,對其力學功能要求比較高;
(2)傳熱作用:坩堝經過本身優良的導熱功能,傳導多晶硅質料融化所需的熱量,融化溫度在1600℃左右,因而,坩堝有必要要有杰出的高溫導熱功能;
(3)安全作用:在緊急情況停爐時,因為多晶硅冷卻時體積膨脹(大約為10%),坩堝短時間內會承受很大的應力,因石墨材料本身的強度較低,石墨坩堝在這種情況下一般都會迸裂而報廢,甚至損壞相鄰部件乃至整個熱場,因而石墨坩堝強度較低是單晶出產穩定的隱患,急需更新換代,運用符合拉晶需求的抗折強度大的產品。
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