一、工作的分配，為生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品奠定基礎(chǔ)。

二、職位的職責(zé)，如煅燒石墨零件的制備、石墨零件的清洗、石墨零件的干燥和煅燒。

三、工藝原理，即經(jīng)過(guò)高溫煅燒去除石墨加工過(guò)程中的揮發(fā)性物質(zhì)，避免在硅芯的還原和拉伸過(guò)程中雜質(zhì)污染多晶硅。

四、工藝指標(biāo)

1、真空泵低真空至30格柵（1x10-3檔）。

2、分散泵高真空至90格（1x 10-3檔）。

3、烘烤爐高壓?jiǎn)?dòng)后，升壓20分鐘，每次0.5V。

4、煅燒爐溫度至1550℃。

五、操作方法

1、沸騰冷卻水閥。

2、打開(kāi)真空泵。

3、閉式分散泵制動(dòng)刀、預(yù)熱分散泵。

4、當(dāng)?shù)驼婵者_(dá)到30格（1 x 10-3檔）時(shí)，打開(kāi)真空閥并封閉低真空閥。

5、打開(kāi)高真空閥，高-90（1x10-3檔）。

6、打開(kāi)高壓開(kāi)關(guān)并在20分鐘后增加電壓。當(dāng)真空度為80-90度時(shí)，壓力增加到8(X5)，爐溫為1550℃，恒溫2-3小時(shí)。

7、緩慢中止冷卻，通常10分鐘，中止高壓電源，中止分散泵，封閉真空閥，中止?fàn)t子，封閉冷卻水閥。

8、撤除爐子后，戴上口罩和高純度手套，取出石墨片，用潔凈的塑料袋密封。

9、急停：先停真空泵，再切斷電源，最終切斷水。