石墨舟除銹前的檢查工作:

石墨舟使用近100次時，操作人員需要及時檢查涂層情況，出現涂層異常，需要清洗確認。

硅片石墨舟內，正常鍍膜顏色為藍色，晶片內有非藍色、多種顏色或晶片間色差大，均為異常鍍膜，需通過工藝確認異常原因。

在分析了晶舟的涂層情況后，工藝師將確定石墨晶舟是否需要清洗，以及是否需要更換卡點。生產時，要清洗的船艇會交給設備人員進行清洗。

在確定石墨舟需要清洗后，設備、生產和技術將檢查石墨舟。做了以上檢查后，接下來就是縮放的方法:

1.將石墨舟吊入專用烘箱中，關閉烘箱門并鎖好；打開電源開關-風扇開關-加熱開關-報警開關；恒溫器設定溫度為80度。石墨舟在烘箱中干燥6-8小時(經檢測，石墨舟與使用前的石墨舟無異，方可取出)。

2.清洗后放入水槽，用水槍沖洗，關閉排水閥，排水，以水沒過船為準。沖洗通常需要2個小時。

3.清洗后，將石墨舟從水箱中取出，用氣槍吹掉表面明顯的水珠。

4.將溫度設置為20度。一般爐內石墨舟冷卻半小時達到常溫即可取出。

5.擰緊石墨舟上的所有螺母，并檢查石墨舟的所有陶瓷部件。工藝點的石墨舟需要更換。取出后需要進入維修間的專用架子進行維修。以上是石墨舟表面的處理方法。  

6.打開酸罐的排水閥。廢酸排出后，用水槍沖洗酸罐。

7.關閉閥門，將石墨舟放入酸罐中，打開進水閥，向酸罐中放入純水，直至水淹沒石墨舟，關閉水閥。然后在酸罐中加入HF酸(4瓶)，關閉清洗機的窗口，然后開始清洗(在酸中浸泡6小時左右)。清洗時戴防酸堿手套，將石墨舟從酸浴中取出，看是否清洗干凈，如果沒有及時清洗干凈，繼續清洗，直到清洗干凈。