石墨舟清洗前的準備工作:

(1)在分析了艇的涂層狀況后，技術專家將確定石墨艇是否需要清洗，以及是否需要更換卡點。生產時，要清洗的船艇會交給設備人員進行清洗。

(2 )/ kloc-13/boat中硅片正常鍍膜顏色為藍色，晶圓內有非藍色、多種顏色或晶圓間色差大，均為異常鍍膜，需通過工藝確認異常原因。  
(3)在確定石墨 boat需要清洗后，設備、生產和技術將檢查石墨 boat。2.1.5 石墨 boat損壞后，生產人員會將舟內的硅片全部取出，用CDA(壓縮空氣)檢查石墨 boat內的碎片。

(3) 石墨當該艇使用近100次時，操作者需要及時檢查涂層情況。如果涂層出現異常，需要進行清潔和確認。