真空爐殼一般采用水冷或風冷方式冷卻。

真空爐中的壓力可以被泵入低于大氣壓的工業爐中。真空爐電加熱，加熱工件表面不氧化，不脫碳，變形小，機械性能好。真空爐熔化金屬有利于去除雜質，成品針孔少，偏析小，質量好。真空爐適用于熔煉和加熱高質量、高純度的難熔金屬，如鎢、鉬、鉭、鈮、鈦、耐熱合金鋼以及磁性材料、電工材料、高強度鋼、不銹鋼、工具鋼和模具鋼的熱處理。真空爐出現在20世紀30年代左右。1927年，美國制造了電工材料真空退火爐。1953年，工業上使用真空自耗電弧爐冶煉海綿鈦。20世紀50年代左右，真空感應爐在工業上得到廣泛應用。1960年，美國研制出油淬真空爐。

真空爐一般由爐腔、電加熱裝置、密封爐殼、真空系統、電源系統和溫度控制系統組成。爐殼采用碳鋼或不銹鋼焊接，可拆卸部件的結合面采用真空密封材料密封。為了防止爐殼變形和密封材料受熱變質，爐殼一般采用水冷或風冷冷卻。爐子位于密封的爐殼內。根據爐子的用途，不同類型的加熱元件，如電阻器、感應線圈、電極和電子槍，安裝在爐子內部。在冶煉金屬的真空爐爐膛內安裝坩堝，有的還配有自動澆注裝置和裝卸物料的機械手。真空系統主要由真空泵、真空閥和真空計組成。

20世紀50年代，無芯感應爐迅速發展。后來出現了電子束爐，利用電子束沖擊固體燃料，可以強化表面加熱，熔化高熔點材料。鍛造加熱用的爐是第一臺手鍛爐，其工作空間是一個凹形的凹槽，凹槽內填充煤，燃燒用的空氣從凹槽下部供給，工件埋在煤中加熱。這種爐熱效率低，加熱質量差，只能加熱小工件。后來發展成用耐火磚制成的半封閉或全封閉的室式爐。可以用煤、煤氣或石油作燃料，也可以用電作熱源，工件可以在爐內加熱。

為了方便加熱大型工件，出現了適合加熱鋼錠和鋼坯的臺車式爐，還出現了加熱長棒材的井式爐。20世紀20年代以后，出現了各種機械化和自動化的爐型，可以提高爐子生產率和勞動條件。隨著燃料資源的開發和燃料轉換技術的進步，工業爐的燃料逐漸從塊煤、焦炭、煤粉等固體燃料轉變為發生爐煤氣、城市煤氣、天然氣、柴油、燃料油等氣體和液體燃料，并開發了各種適用于所用燃料的燃燒裝置。