安裝質量不好會使升壓速率達不到技術要求，真空爐長期使用后升壓速率也會增大。當真空壓力上升速率惡化到一定程度時，被處理零件的表面質量會下降，加熱元件的使用壽命會明顯降低。這是檢測爐膛泄漏，消除漏風原因的需要。泄漏檢測和消除的目的是使泄漏率滿足技術要求。1)漏風孔造成的漏風；2)滲透造成的漏風；滲透是指氣體不通過固體中的孔洞泄漏，而是吸附在固體高壓側的表面，然后沿濃度梯度向固體低壓側擴散的現象。真空爐中的金屬、玻璃、橡膠、陶瓷等材料都是透氣的。

利用壓力-時間曲線可以求出真空系統的壓力上升率。

從曲線可以看出，在抽真空的過程中，真空爐內的壓力在開始時迅速下降，然后達到一個穩定的水平。真空閥關閉后，爐內壓力變化可以用曲線表示。

由于雙室油淬爐使用的熱電偶長期交替正負壓力，其外殼的金屬管會釋放出氧化粉塵，被熱電偶中磁管的微孔吸附，白色磁管會變黃或變黑，造成真空爐中熱電偶陶瓷管導電現象。修理熱電偶時，應經常檢查磁管的顏色，并用萬用表檢測磁管的導電性。如果出現這種情況，應該更換熱處理過的磁性管。

目前國內高壓氣體淬火的工件變形普遍較大。原因是:我國典型的真空高壓氣淬爐的爐型是圓形的，在爐的四周均勻布置淬火冷卻噴嘴，以獲得均勻的氣流場。實際上，這種結構的爐內冷卻氣流的均勻性很差。前后爐端面附近氣流速度很低，冷卻能力差。靠近爐門的一端冷卻速度比另一端快。在爐料有效尺寸范圍內，冷卻空氣流量也較低，面向噴嘴的圓柱面上氣體流量較高，而相鄰兩個噴嘴之間的冷卻能力很低，工件面向噴嘴的噴霧冷卻痕跡明顯。同一爐內不同位置工件的冷卻有很大不同。這種情況導致工件淬火變形大，工件耐回火性不一致。

預真空回火爐是一種保護氣氛熱處理爐。真空回火爐可以通過充氣和通風消除爐內的氧化氣氛。充氣法是對爐內不斷進行充氣和放氣，以驅除爐內氧化的雜質氣體，使爐內氣氛純度達到要求。通風方式是用機械泵把爐內的氧化氣體抽出來，然后充入保護氣體，再把不純氣體抽出來，充入保護氣體。如此反復數次，直到爐內氣體純度合格。高合金鋼真空回火真空度133MPa，爐內殘氧0.132%。