真空爐溫度均勻性的測量過程

1.準備工作

測量熱電偶和溫控熱電偶應按GB/ J351 —1996《中華人民共和國國家計量鑒定規程》的有關規定進行測試，合格后方可測量爐溫均勻性。從爐體上取下測溫孔蓋板，依次放上9個測試合格的熱電偶的密封墊片和橡膠墊片，從法蘭孔引入爐腔，按圖1所示位置依次固定在爐門處的支撐架上。支撐架的尺寸就是有效加熱尺寸。小心地將支撐框架移動到爐腔中，將其放置在爐膛上，并調整其位置以與有效加熱空間重合。固定測溫法蘭的熱電偶孔，依次放上密封墊片，在橡膠墊片上涂上真空油脂，擰緊壓緊螺栓，安裝法蘭。按照操作程序依次手動啟動真空機械泵和真空羅茨泵，然后停止30分鐘，直到工作真空度達到2 Pa，觀察真空表的讀數，看壓力上升率是否在正常的0。5pa/h，如果正常，繼續測量爐溫均勻性。如果不正常，重新調整緊固螺栓，重新測量壓力上升率。直到正常，我們才能繼續測量爐溫均勻性。

2.確定過程

根據工藝要求，測量溫度點為650℃、850℃和1000℃，溫升曲線設置在FP21溫度控制儀上。將熱電偶控制在設定溫度120分鐘后，開始測量每個熱電偶的值。每隔5分鐘讀一次，連續讀3次。如果每個點的溫度都在要求溫度的5℃以內，則該溫度點的測量結束；否則，保持等溫，直到溫度均勻或時間達到3h(工藝設定的保溫時間)，記錄各點溫度。調節FP21儀表，將溫度從650℃升至850℃，保持120分鐘，在650℃時重復測量步驟。

溫度也從850℃升至1100℃，保溫120分鐘，重復650℃的測溫步驟。以上數據分別填寫在記錄單上，測量完成后，按正常的空爐降溫步驟降溫。

3.恢復設備

打開爐門，拉出測量支架，拆下固定熱電偶的導線，取下法蘭，裝上原蓋板，按正常使用測試升壓率，按操作程序依次手動啟動真空機械泵和真空羅茨泵，停機30分鐘，直至工作真空度達到2Pa。觀察真空表的讀數，看壓力上升率是否在正常值0。5pa/h，如果合格，繼續，設備可以正常使用。否則，繼續。從溫度測量法蘭上拆下測量熱電偶，并小心地將其弄直，以防止熱電偶斷裂或損壞。