真空爐一般由爐腔、電加熱裝置、密封爐殼、真空系統、電源系統和溫度控制系統組成。爐殼采用碳鋼或不銹鋼焊接，可拆卸部件的結合面采用真空密封材料密封。為了防止爐殼變形和密封材料受熱變質，通常用水或空氣冷卻爐殼。爐子位于密封的爐殼內。根據爐子的用途，不同類型的加熱元件，如電阻器、感應線圈、電極和電子槍，安裝在爐子內部。坩堝安裝在用于熔煉金屬的真空爐的爐中，并且一些配備有用于裝載和卸載材料的自動澆注裝置和機械手。真空系統主要由真空泵、真空閥和真空計組成。  

真空爐中的壓力可以用低于大氣壓的壓力泵入工業爐。真空爐電加熱，加熱工件表面無氧化、脫碳，變形小，機械性能好。真空爐熔化金屬有利于去除雜質，成品針孔少，偏析少，質量好。真空爐適用于鎢、鉬、鉭、鈮、鈦、耐熱合金鋼等高質量、高純度難熔金屬的熔煉和加熱，以及磁性材料、電工材料、高強度鋼、不銹鋼、工具鋼、模具鋼的熱處理。

真空淬火爐的外表面經常擦拭并保持清潔。

零件和備件可在入爐前進行清潔和干燥，以防止濕氣和灰塵進入爐內。

當發現傳動部件堵塞、受限或失控時，立即排隊，不要強行操作，以免損壞部件。鋁點焊機的機械傳動部分應定期加油或更換。

真空泵、閥門、測量儀表、熱工儀表、電氣元件及其他附件應按產品的技術規范進行維修和保養。

真空爐出現在20世紀30年代左右。1927年，美國制造了電工材料真空退火爐。1953年，用真空自耗電弧爐冶煉海綿鈦。20世紀50年代左右，真空感應爐在工業上得到廣泛應用。1960年，美國研制出油淬真空爐。

真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐(也稱電子轟擊爐)和等離子爐。

真空淬火爐停止后，爐內真空度應保持在66.5LPA以下

當爐內有灰塵或雜質時，應用酒精或汽油浸泡過的綢布擦拭干凈并晾干。

拆卸爐體上的密封結構和真空系統時，要用酒精或汽油清洗干凈，晾干，涂上真空油脂后再組裝。