真空爐出現(xiàn)在20世紀(jì)30年代左右。1927年，美國制造了電工材料真空退火爐。1953年，工業(yè)上使用真空自耗電弧爐冶煉海綿鈦。20世紀(jì)50年代左右，真空感應(yīng)爐在工業(yè)上得到廣泛應(yīng)用。1960年，美國研制出油淬真空爐。

真空爐一般由爐腔、電加熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、電源系統(tǒng)和溫度控制系統(tǒng)組成。爐殼采用碳鋼或不銹鋼焊接，可拆卸部件的結(jié)合面采用真空密封材料密封。為了防止?fàn)t殼變形和密封材料受熱變質(zhì)，真空爐殼一般采用水冷或風(fēng)冷冷卻。爐子位于密封的爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子的用途，爐子中有不同類型的加熱元件，如電阻器、感應(yīng)線圈、電極和電子槍。在冶煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)安裝坩堝，有的還配有自動澆注裝置和裝卸物料的機(jī)械手。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥和真空計(jì)組成。
真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應(yīng)爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐和電子束爐(又稱電子轟擊爐)。
真空爐按結(jié)構(gòu)可分為立式和臥式系列，立式系列又可分為鐘罩升降式和底盤升降式。臥式分為單門結(jié)構(gòu)和前后雙門結(jié)構(gòu)。爐體采用水冷夾層結(jié)構(gòu)。
加熱保溫室可選擇全金屬型和復(fù)合型。全金屬型由耐熱不銹鋼和鉬網(wǎng)組成。它由復(fù)合耐熱不銹鋼、鉬網(wǎng)、碳?xì)帧⒛獊硎w維或硅酸鹽纖維制成。選擇取決于用戶的工藝條件和對工藝環(huán)境的要求。
加熱器有幾種類型，如鎳鉻絲(帶)、鉬絲(帶、棒)、石墨等。具體選擇取決于用戶要求的最高溫度。加熱器分布方式有四面加熱和全方位加熱兩種，保證了用戶對爐內(nèi)溫度均勻的要求。
冷卻系統(tǒng)有羅茨鼓風(fēng)機(jī)外循環(huán)結(jié)構(gòu)、離心風(fēng)機(jī)外循環(huán)結(jié)構(gòu)、冷壁離心風(fēng)機(jī)內(nèi)循環(huán)結(jié)構(gòu)等幾種類型，滿足不同冷卻速率的要求。
抽真空系統(tǒng)包括離子泵+渦輪分子泵+機(jī)械泵、渦輪分子泵+機(jī)械泵、擴(kuò)散泵+羅茨泵+機(jī)械泵、羅茨泵+機(jī)械泵、低溫冷凝泵+機(jī)械泵等。，根據(jù)極限真空度指標(biāo)選擇。
溫度由進(jìn)口智能溫控器控制，可實(shí)現(xiàn)升溫、恒溫、降溫的自動控制功能；具有工藝曲線存儲功能，可存儲多條不同的工藝曲線；具有升降溫速度可調(diào)、時(shí)鐘精確的功能，可同時(shí)顯示實(shí)際溫度、設(shè)定溫度等多種參數(shù)。具有PID參數(shù)自算和斷電保護(hù)功能。
具有完善的報(bào)警和保護(hù)措施。
配有進(jìn)口多點(diǎn)記錄儀，可記錄全過程的真空度、壓力、溫度等工藝曲線，便于工藝分析、質(zhì)量監(jiān)控和生產(chǎn)管理。
真空計(jì)可選用高可靠性的進(jìn)口數(shù)字式智能真空計(jì)或國產(chǎn)高品質(zhì)真空計(jì)，保證真空度與溫度控制的聯(lián)動，滿足工藝要求。
全過程控制由進(jìn)口可編程邏輯控制器(PLC)完成，所有動作均有聯(lián)鎖保護(hù)。有兩種工作模式:手動和自動。用戶可以選擇全手動工作模式，也可以選擇工控機(jī)群控模式。