選擇爐膛材料遇到的主要問題是高溫環境下的固態共晶現象，也就是說有時候爐膛材料和工件材料在高溫下會發生共晶。例如，高于1165℃的溫度，碳和鎳金屬將局部共晶。鎳是許多鋼(尤其是不銹鋼)中常見的金屬元素，所以這些鋼件在熱處理時不能與石墨爐床或夾具接觸。為此，石墨爐床的滑軌通常需要陶瓷或鉬元件來隔離工件和石墨爐床。在一定條件下，鉬還會與某些材料共晶。而且鉬能與鋼中一些常用的金屬合金發生化學反應，但反應溫度往往遠高于正常的熱處理溫度范圍。受熱部件

   根據爐體的形狀，熱場承受部件通常由一個或多個圓形鋼圈組成，材料通常為不銹鋼而非普通碳鋼。不銹鋼雖然增加了成本，但大大增加了耐用性。在大多數真空爐設計中，氣體噴嘴都在不銹鋼環的周圍，因此熱場承載部件也起到使氣體遍布整個工件的作用。隔熱構件通過各種形狀的不銹鋼構件固定在熱場承載構件上。

工件支承爐床

    工件承載件是為支撐熱處理工件而設計的，其材料仍然是流行的鉬和石墨。通常在爐膛上建造滑軌來裝載工件，并通過螺釘將其固定安裝在爐膛外部的加固區域。由于材料的高強度，對于相同重量的工件，鉬爐床可以建造得比石墨爐床更輕。在長期反復的熱環境下，鉬軌會發生一定程度的變形。石墨爐膛雖然較重，低溫時熱容量較大，但不會熱變形，良好的導熱性減少了一些不利因素。雖然石墨比鉬便宜，但由于石墨的脆性，石墨導軌在裝載工件時容易掉屑。最近新開發的石墨纖維材料可以防止碎裂的發生，但成本相對較高，甚至高于鉬材料。